, N. K2 L+ K+ e }. p1 @图一.5台机器，6个步骤的微型FAB工艺流程示意图5 T! I5 ?& ?+ |! Y$ k
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微型FAB包括在3种不同的机器组，6个步骤的工艺流程和2种产品晶片和试验晶片。在每个机器组，步骤4，5，6处都是一个再进入入口。机器组包括扩散—C1（2个机器Ma和Mb），离子注入－C2（2个机器Mc和Md）和平面光刻技术－C3（一个机器Me）。 $ t! s u. Q7 S, c* D求大家用extendsim7仿真谢谢邮箱641395644@163.com
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发表于 2011-3-18 21:49:26
